真空PUMP可分為：高真空PUMP及低真空PUMP。
依功能及用途有不同動作原理。
機械幫浦基本概念
機械真空幫浦通常用於抽中低真空，或是做為高真空系統之前級幫浦。一般可依據是否使用潤滑油來區分為乾式和油封式幫浦，乾式真空幫浦一般用在半導體產業需要高潔淨度或是需要抽取有毒氣體及氣體化學反應產生的微粒，而油封式幫浦須使用油脂來潤滑、排熱及密封，故有油氣污染的問題。真空幫浦油必須滿足低蒸氣壓、大分子量、適當的黏滯性、優良的抗乳化性及安定性。真空幫浦與真空系統之匹配需考慮到幫浦之適用壓力範圍、抽氣壓縮比、終極壓力、抽氣速率及其相關附件的功能。
