中、高真空泵浦低原理

真空是一種不存在任何物質的空間狀態，是一種物理現象。在“真空”中，聲音因為沒有介質而無法傳遞，但電磁波的傳遞卻不受真空的影響。事實上，在真空技術裡，真空係針對大氣而言，一特定空間內部之部份物質被排出，使其壓力小於一个标准大氣壓，則我們通稱此空間為真空或真空狀態。[1]真空常用帕斯卡（Pascal）或托爾（Torr）做為壓力的單位。目前在自然環境裡，只有外太空堪稱最接近真空的空間。現代許多高精密度的產品在製造過程中的某些階段必需使用程度不一的真空才能製造，如半導體、硬碟機、鏡片。在實驗室和工廠中製造真空的方法是利用泵在密閉的空間中抽出空氣以達到某種程度的真空。在真空技術中按照壓力的高低我們可以區分為：

粗略真空 (Rough Vacuum) 760 ~ 1 Torr
中度真空 (Medium Vacuum) 1 ~ 10-3 Torr
高真空 (High Vacuum) 10-3 ~ 10-7 Torr
超高真空 (Ultra-High Vacuum) 10-7 Torr以下